弗化水素超低排出対策の技術的課題と解決策 弗化水素（HF）は工業プロセスにおいて発生する有害ガスの一つであり、その排出規制は年々厳しさを増しています。従来の弗化水素超低排出対策では、湿式スクラバーやドライスクラバーなどの […]